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PCE-8是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等）。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
技术参数
输入电源 | · AC 220V , 50/60 Hz, · 最大射频功率: 100 W · 真空泵功率: < 500W · 总功率: < 600W |
射频功率 | · 射频功率可在 0 - 100W之间调节 · 射频: 13,56 MHz · 可以与本公司工作人员联系采用300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验 |
等离子腔体 | · 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 · 铝制折叠式法兰来进行真空密封 · 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 |
控制面板 | · 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. · 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量 |
真空泵（选配） | · 可选一台240L/min直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。 · 极限真空度为50mTorr |
通入气体 | 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） |
等离子清洗及刻蚀的方法 |
